【摘 要】
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对比了薄膜X射线应力测试的三种衍射几何，结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点，所以掠
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目!(编号 :5 973 10 2 0 )
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对比了薄膜X射线应力测试的三种衍射几何，结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点，所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射侧倾法测量了PVD和PCVD工艺的TiN薄膜的内应力情况，结果表明制备工艺对于气相沉积膜内的应力状态有较大影响。
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