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由于薄膜厚度很薄，使得在应用传统X射线法测试薄膜应力时，存在透入深度过深且衍射强度不够的缺点；而且一般气象沉积膜都存在择优取向......
对比了薄膜X射线应力测试的三种衍射几何，结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有......
