化学刻蚀的光学元件面形修复

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lxting86
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用化学加工方法对光学元器件进行面形加工,可以避免传统的抛光工艺带来的亚表面缺陷和表面污染.实验中利用Marangoni界面效应有效控制化学液的驻留时间和驻留面积,并通过数控系统实现编程控制加工,进行了面形修复实验,利用轮廓仪测量了加工前后的表面粗糙度.结果表明,采用拼接小去除量多次加工的方法,有效地降低了面形误差,面形值由1.32λ(λ=632 nm)减少到0.66λ,粗糙度基本维持不变.利用此实验装置使基片面形得到修复,避免了传统加工方式带来的亚表面缺陷等问题,有利于强激光系统的使用.
其他文献
自近代以来,人类社会进入了一个与传统社会截然有别的新的历史时期.在探讨新时期的社会发展问题方面,出现了许多新观点、新理论.毛泽东作为一代伟人,在探讨中国社会发展问题
随着多媒体技术和互联网的突飞猛进,传统媒体的传播模式不断被颠覆。传统媒体与新兴媒体间的交织构成了媒介融合大环境,而网络电视因拥有网络与电视的双重基因,成为各方探索
在有限电导率光栅的微分理论中引入校正傅里叶展开方法,改善了计算收敛性。运用改进后的微分理论对软X射线波段掠入射金属光栅的闪耀特性做了数值分析,通过详细考察三角槽形、
基于光相干域偏光测试技术,提出了一种高精度的保偏光纤拍长测试方法,实现了不同结构、不同尺寸保偏光纤的拍长测试。阐述了光相干域偏光测试技术原理并推导出测量方程;以迈克尔
基于傅里叶变换光谱法原理,针对现有的傅里叶变换光谱仪结构,提出了一种基于干涉光谱法遥测氢的系统设计方案。采用石英碘钨灯作为光源,设计了一套完整的光学能量收集及干涉系统,满足了调校与测量的双重需求。利用LightTools对该系统进行了光学仿真,然后在MATLAB下对模拟接收器接收的光强度值进行了数据处理与分析。结果表明,采用该方案可以很好地对氢气进行远距离检测。最后,阐述了该系统对于其它推进剂检测