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面形修复相关论文
化学刻蚀的光学元件面形修复
采用化学加工方法对光学元器件进行面形加工,可以避免传统的抛光工艺带来的亚表面缺陷和表面污染.实验中利用Marangoni界面效应有......
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光学元器件
化学刻蚀
面形修复
Marangoni界面效应
粗糙度
PolishingProfilometrySolventsSurface roughness
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