【摘 要】
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介绍了一种基于Matlab图像处理工具箱技术的评价硅片表面污染颗粒激光清洗率的新方法。借助Matlab图像处理工具箱，对清洗前后硅片表面光学显微镜照片进行处理，编写硅片表面激光
【机 构】
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大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
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介绍了一种基于Matlab图像处理工具箱技术的评价硅片表面污染颗粒激光清洗率的新方法。借助Matlab图像处理工具箱，对清洗前后硅片表面光学显微镜照片进行处理，编写硅片表面激光干法清洗率的评价程序，统计清洗前后硅片表面评价区域的污染颗粒个数，对清洗效果进行定量评价。研究结果证明，利用此方法统计的颗粒数准确度达97．6％，得到的激光清洗率准确度达99.2％。结果表明，借助图像处理技术评定清洗效果是一种高效、快速、准确的新方法。
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