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在假设局部热力学平衡的前提下,分别采用Boltzmann作图法和Sah-Eggert解离平衡计算法测定了大功率微波诱导氮等离子体的激发温度和电子密度.实验结果表明,当选择的元素和光谱线不同、引用的跃迁几率等文献参数不同时,会导致激发温度和电子密度的测定结果显著不同.
大功率MIP中激发温度和电子密度的测定
【摘 要】
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在假设局部热力学平衡的前提下,分别采用Boltzmann作图法和Sah-Eggert解离平衡计算法测定了大功率微波诱导氮等离子体的激发温度和电子密度.实验结果表明,当选择的元素和光谱
【机 构】
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苏州科技学院环保系
【出 处】
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苏州城建环保学院学报
【发表日期】
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2002年2期
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