【摘 要】
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本文主要分析了作为分子束外延碲镉汞的碲锌镉衬底的表面预处理工艺。湿化学处理工艺主要目的是去除衬底表面损伤层，0.5%溴甲醇溶液的腐蚀速率为7 nm/s，但腐蚀的同时会形成表面
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本文主要分析了作为分子束外延碲镉汞的碲锌镉衬底的表面预处理工艺。湿化学处理工艺主要目的是去除衬底表面损伤层，0.5%溴甲醇溶液的腐蚀速率为7 nm/s，但腐蚀的同时会形成表面富Te层和氧化层，氧化层的厚度随溴甲醇的浓度增加而增加；高温热处理工艺主要是消除湿化学腐蚀形成的富Te层和氧化层，340℃的高温处理可去除表面氧化层；也可以直接通过回旋共振等离子体处理衬底表面，形成化学计量比正常的干净表面。
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