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以金刚石微马达和微型谐振子结构制备为例，介绍化学气相沉积金刚石薄膜的两种选择生长技术。
金刚石薄膜选择生长技术
【摘 要】
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以金刚石微马达和微型谐振子结构制备为例，介绍化学气相沉积金刚石薄膜的两种选择生长技术。
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1998年05期
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