论文部分内容阅读
介绍了一台具有国际发明专利的新型仪器--多功能机械摩擦显微仪(TPM). TPM可用于检测微纳米级工程表面的机械和摩擦性能. 其特点是在一次扫描中可同时检测以下四项功能参数:表面轮廓、表面摩擦、表面纳硬度和表面弹性模量. 由于TPM基于点阵扫描, 因此所测得的四项参数在空间和时间上是相关的. TPM是一种可变力触针式扫描仪. 表面接触力由一个永久磁铁和线圈加力装置控制, 加力范围为0.01～30 mN. 扫描平台范围为100 μm×100 μm,该范围通过闭环控制具有纳米级精确度.表面轮廓的范围