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利用AFM测量软性材料如聚合体、生物物质时,AFM探针对被测软性材料表面施加一定的力而引起材料表面产生变形.通过测力-位移曲线,基于AFM测力-压痕曲线分析,探讨了减轻该影响并获得高精度软性材料表面形状测量结果的方法,进而计算材料表面微观杨氏弹性模量.该方法不仅可决定物体的表面弹塑性,获得高精度的表面形状测量结果,而且通过了解物体变形机理,进一步分析材料的微观特性.