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采用SEM,XRD,SIMS等手段对钽在氢与氮等离子体中形成的表面层的物相与组织进行了分析.试验发现,Ta表面在H、N等离子体中渗氮得到的渗氮层均匀、致密,由体心立方的超晶格TaN0.1和化合物Ta6N2.57及固溶体组成.
钽表面离子渗氮层的组织与结构
【摘 要】
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采用SEM,XRD,SIMS等手段对钽在氢与氮等离子体中形成的表面层的物相与组织进行了分析.试验发现,Ta表面在H、N等离子体中渗氮得到的渗氮层均匀、致密,由体心立方的超晶格TaN0.
【机 构】
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江西省科学院应用物理研究所
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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2001年10期
【基金项目】
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江西省科技攻关项目
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