微通道板在12-40nm波段的量子效率测量

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aaronqi666
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提出了一种测量微通道板(MCP)量子效率的方法。该方法选用激光等离子体光源作为极紫外辐射源,使用传递标准探测器一硅光电二极管标定光源强度,用标定后的光照射待测MCP,采用直接测量电压来间接测量探测器输出电流,再计算出MCP量子效率。实验结果表明,在12-40nm,MCP量子效率为2%~12.3%,量子效率随波长的增大呈下降趋势。测量与误差分析表明,导致MCP量子效率测量结果变化的主要因素是光源稳定性和机械转动精度。通过与计数方式测量结果比较,进一步验证了本测量方法的正确性。
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