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采用电化学阳极氧化法制备高度有序的TiO2纳米管阵列。样品分别在300℃、400℃、500℃和600℃条件下煅烧。TiO2纳米管的结构和形貌由X射线衍射仪(XRD)和场发射扫描电镜(FESEM)进行表征。用TiO2纳米管阵列设计一种新型的传感器来考察其湿敏特性。600℃条件下煅烧的样品在11%~95%相对湿度(RH)范围内表现出比较高的灵敏度,在电阻上有两个数量级的变化,并且响应和恢复时间比较短(〈190s)。