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采用正交试验设计,应用方差分析方法,研究了旋涂工艺中聚合物溶液的浓度、匀胶机的旋涂速度和加速度以及旋涂时间对所制备的薄膜厚度的影响.试验和分析结果表明:溶液浓度和旋涂速度对薄膜厚度具有显著性的影响,而旋涂加速度和旋涂时间对它的影响则不显著.使用旋涂工艺制备聚合物薄膜时,合理选择溶液浓度和旋涂速度,对于优化器件的性能具有非常重要的作用.