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在考虑B,P,As离子注入单晶硅中的浓度分布模型的基础上,讨论了快速热退火对3种注入离子浓度分布的影响,提出了3种离子在快速热退火后浓度分布的修正模型.由修正后的模型得到的多次离子注入模拟结果与实验结果符合很好.
单晶硅中离子注入及快速热退火后浓度分布模型
【摘 要】
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在考虑B,P,As离子注入单晶硅中的浓度分布模型的基础上,讨论了快速热退火对3种注入离子浓度分布的影响,提出了3种离子在快速热退火后浓度分布的修正模型.由修正后的模型得到
【机 构】
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北京师范大学物理学系,北京师范大学低能核物理研究所
【出 处】
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北京师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2003年3期
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