基于块材压电陶瓷的悬臂梁式压电微驱动器

来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：weishaohua1982

【摘要】

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【作者】

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王欢李以贵蔡金东吴文渊吕瞳何易德

【出处】

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微纳电子技术

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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压电微驱动器共晶键合准分子激光加工微电子机械系统(MEMS) 悬臂梁

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(60777016);上海市联盟计划资助项目(LM201712)

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