【摘 要】
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以晶体硅金刚线切割废料为原料,通过氮化反应制得氮化硅,既回收了金刚线切割废料,又解决了环境污染的问题。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量色谱仪(ED
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)(51334004)项目资助~~
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以晶体硅金刚线切割废料为原料,通过氮化反应制得氮化硅,既回收了金刚线切割废料,又解决了环境污染的问题。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线能量色谱仪(EDS)等技术手段研究了原料经HCl和HF酸洗净化后制备氮化产物的物相组成、组分质量分数和微观形貌的影响。结果表明,HCl酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si2N2O和Si3N4,而HF酸洗后切割废料制备的氮化产物中主要物相为Si3N4。氮化产物中Si2N2O的形成与切割废料中SiO2的质量分数有关,降低原料中SiO2的质量分
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