【摘 要】
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对一种新型位置传感器-PSD的结构、特性、检测电路和应用系统的设计进行了较为详细地介绍,这种传感器与CCD点阵式位置传感器相比,具有响应时间快、外围电路简单、分辨率高、以及不受入
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对一种新型位置传感器-PSD的结构、特性、检测电路和应用系统的设计进行了较为详细地介绍,这种传感器与CCD点阵式位置传感器相比,具有响应时间快、外围电路简单、分辨率高、以及不受入射光束和焦点偏离的影响等特点.
The structure, characteristics, detection circuit and application system design of a new position sensor-PSD are introduced in detail. Compared with CCD position sensor, this sensor has the advantages of fast response time, simple peripheral circuit, High rate, and not affected by the incident beam and focus deviation and so on.
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