金刚石薄膜与WC-Co硬质合金结合力的改善

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【摘要】

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利用SEM，XRD研究了Murakami溶液和H2等离子体处理对硬质合金表面形貌、物相结构的影响，并对硬质合金工具进行了复合金刚石薄膜涂层，采用压痕法和实际钻削实验检测了金刚石薄膜／基

【作者】

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李建国胡东平梅军刘实李依依

【机构】

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中国工程物理研究院结构力学研究所,中国科学院金属研究所

【出处】

：

金属学报

【发表日期】

：

2006年7期

【关键词】

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复合金刚石薄膜硬质合金结合力 Murakami溶液 H2等离子体 composite diamond film WC-Co adhesion Mura

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利用SEM，XRD研究了Murakami溶液和H2等离子体处理对硬质合金表面形貌、物相结构的影响，并对硬质合金工具进行了复合金刚石薄膜涂层，采用压痕法和实际钻削实验检测了金刚石薄膜／基体间的结合力．结果表明，微米／纳米复合金刚石薄膜涂层分布均匀，具有低的表面粗糙度，Murakami溶液处理硬质合金可产生均匀的表面沟槽，其金刚石薄膜与基体间的临界载荷约为1．5kN，而用该方法制备的涂层钻头加工性能很差，H2等离子体处理促进了硬质合金基体表面的WC晶粒更加粗大、致密，其临界载荷超过1．5kN，用该方法制备的涂

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