【摘 要】
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采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了Nb掺杂TiO2透明导电薄膜，通过X射线衍射（XRD)、原子力显微镜（AFM)、紫外可见光谱（UV-Vis)及双电测四探针仪对薄膜的结构和性能进行了表征.结果
【机 构】
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郑州大学材料科学与工程学院,河南教育学院化学系
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（11674290),河南省科技厅科技攻关资助项目（142102210068)
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采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了Nb掺杂TiO2透明导电薄膜，通过X射线衍射（XRD)、原子力显微镜（AFM)、紫外可见光谱（UV-Vis)及双电测四探针仪对薄膜的结构和性能进行了表征.结果表明：退火温度250℃以上时，得到锐钛矿相Nb掺杂TiO2薄膜，且薄膜结构和光电性能随温度升高而改善；300℃时薄膜可见光透过率最高可达80%,电阻率降至2.5 x 10-3.cm;当温度升至350℃时，薄膜晶体开始出现金红石相，光电性能也随之下降.另外，Nb掺杂有利于降低TiO2薄膜晶体的晶相转变温度；掺杂后TiO2
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