【摘 要】
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以光学系统主镜为研究对象,分析了中高频误差对散射损失比的影响。根据光学镜面面形误差近似高斯平稳随机过程特征,结合Harvey-Shack散射理论和统计光学理论,建立了光学镜面
【基金项目】
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基金项目：国家重大基础研究项目和国家自然科学基金资助项目（No.50775215）
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以光学系统主镜为研究对象,分析了中高频误差对散射损失比的影响。根据光学镜面面形误差近似高斯平稳随机过程特征,结合Harvey-Shack散射理论和统计光学理论,建立了光学镜面中高频误差RMS与散射损失比（RSL）之间的数学关系模型,并利用实际加工数据进行了仿真验证。研究表明,RSL随着中高频误差RMS的增加近似呈指数规律增加,同时在聚焦范围内,理论分析与仿真计算结果非常吻合。在中频误差和高频误差RMS值分别＆lt;λ/63时,对RSL的影响均＆lt;1%,结果可为中高频误差的修正提供理论支持。
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