【摘 要】
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为了判别大功率半导体激光器是否为静电损毁失效，对大功率半导体激光器进行了静电损毁机制的研究。通过测量和表征大功率半导体激光器静电损毁现象，为判别其失效提供有效判据。
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为了判别大功率半导体激光器是否为静电损毁失效，对大功率半导体激光器进行了静电损毁机制的研究。通过测量和表征大功率半导体激光器静电损毁现象，为判别其失效提供有效判据。首先，对GaAs基980nm大功率半导体激光器（HPLD）分别施加了-200V，-600V，-800V，-1200V以及＋5000V的静电打击（ESD），每次打击后，测量样品电学参数和光学参数。其次，对打击后的器件进行腐蚀并显微观察其打击后损伤现象。反相ESD后，半导体激光器I-V曲线有明显的软击穿现象，在反向4V电压下反向1200V静电打击后
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