Photoreflectance Spectroscopy for Study of Si/SiGe/Si Heterostructure

来源 :中国稀土学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hzjiawei333

【摘要】

：

UHVCVD-grown Si/Si1- xGex/Si heterostructure was investigated by Photoreflectance spectroscopy (PR). The principle of PR used in semiconductor film was thorough

【作者】

：

Liu Zhihong Chen Changchun Lin

【机构】

：

InstituteofMicroelectronics

【出处】

：

中国稀土学报：英文版

【发表日期】

：

2004年z2期

【关键词】

：

SIGE/SI photoreflectance UHVCVD

【基金项目】

：

Project supported by the National High Technology and Research Development Program (863 Program) of China under grant (2002AA3Z1230)

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UHVCVD-grown Si/Si1- xGex/Si heterostructure was investigated by Photoreflectance spectroscopy (PR). The principle of PR used in semiconductor film was thoroughly described. According to the E1 transition energy in the Si1- xGex alloy, the Ge content in S

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