【摘 要】
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<正> 近年来,无油抽吸设备在微电子产品和电真空与光电仪器生产中得到了广泛应用。这种设备最有发展前途之一是基于独立微型低温系统的低温真空泵。这种泵的作用原理是基于气
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<正> 近年来,无油抽吸设备在微电子产品和电真空与光电仪器生产中得到了广泛应用。这种设备最有发展前途之一是基于独立微型低温系统的低温真空泵。这种泵的作用原理是基于气体冷凝降压效应,即表面气体被冷到低温,冷凝时压力下降,不冷凝气体在低温下被固体吸附剂吸附。低温真空泵的特点是工作压力范围广,作用速度快,可抽吸任何气体,其中包括氢气和
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