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期刊论文
多晶硅生产工艺及有害因素
多晶硅生产工艺及有害因素
来源 :科技视界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:feya520
【摘 要】
:
多晶硅主要用于半导体和太阳能光伏。随着信息化时代的发展,电子级多晶硅和太阳能级多晶硅发展迅速。本文介绍了多晶硅的生产工艺及其发展,以及多晶硅生产工艺中的危险因素和
【作 者】
:
张万军
鲍秀娟
【机 构】
:
黄河水电新能源分公司,陕西紫兆秦牛锅炉有限责任公司
【出 处】
:
科技视界
【发表日期】
:
2013年01期
【关键词】
:
多晶硅
生产工艺
改良西门子法
有害因素
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多晶硅主要用于半导体和太阳能光伏。随着信息化时代的发展,电子级多晶硅和太阳能级多晶硅发展迅速。本文介绍了多晶硅的生产工艺及其发展,以及多晶硅生产工艺中的危险因素和对环境的影响。
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