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介绍了金属氧化物薄膜电极的制备方法与过程，阐述了紫外光作用于金属氧化物半导体的光照机理。基于实际应用和市场需求，就有关光照后金属氧化物薄膜的气敏性能的研究现状进行了探讨，并展望了其今后的应用与研究方向。
纳米氧化物薄膜紫外光照下气敏性能研究进展
【摘 要】
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介绍了金属氧化物薄膜电极的制备方法与过程，阐述了紫外光作用于金属氧化物半导体的光照机理。基于实际应用和市场需求，就有关光照后金属氧化物薄膜的气敏性能的研究现状进行了
【机 构】
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武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室,兰州理工大学甘肃省有色金属新材料省部共建国家重点实验室
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
：
2008年11期
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