同步对称双栅InGaZnO薄膜晶体管电势模型研究

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研究了同步对称双栅氧化铟镓锌薄膜晶体管(InGaZnO thin film transistors,IGZOTFTs)的沟道电势,利用表面电势边界方程联合LambertW函数推导得到了器件沟道电势的解析模型.该模型考虑了IGz0薄膜中存在深能态及带尾态等缺陷态密度,能够同时精确地描述器件在亚阈区(sub.threshold)与开启区(above thresholdl的电势分布.基于所提出的双栅IGZOTFT模型,讨论了不同厚度的栅介质层和有源层时,栅一源电压对双栅IGZOTFT的表面势以及中心势的调制效应
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