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本文用数值方法计算C型和E型硅膜片电容压力传感器的输入、输出关系及性能指标,给出了能减少非线性误差的新的电极形状。
硅膜片电容压力传感器CAD
【摘 要】
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本文用数值方法计算C型和E型硅膜片电容压力传感器的输入、输出关系及性能指标,给出了能减少非线性误差的新的电极形状。
【机 构】
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合肥工业大学电气系,合肥工业大学电气系
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1990年03期
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