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本文主要介绍了硅中硼离子注入校准样品的制备与研究。分别用三台SIMS仪器对样品进行了深度剖析与比对,并对用作校准目的的样品主要参数进行了定值。
硅中硼离子注入校准样品的研制
【摘 要】
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本文主要介绍了硅中硼离子注入校准样品的制备与研究。分别用三台SIMS仪器对样品进行了深度剖析与比对,并对用作校准目的的样品主要参数进行了定值。
【机 构】
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上海市测试技术研究所,上海市测试技术研究所200233,200233,200233
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年1期
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