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BAK760真空镀膜机是BALZERS公司产品，设备80年代投入使用，主要用于滤光片的薄膜制作。在镀膜过程中，辉光放电清洗是其不可或缺的工艺过程。在镀膜开始阶段或每一层膜完成后，对基片或膜层进行辉光放电清洗，使膜层具有较强的薄膜结合力、牢固度及稳定性，能使镀膜材料能更好的与基体材料相结合。通过对辉光放电结构的了解和故障原因的分析，总结出故障排查方法。