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利用调Q-YAG激光对硅单晶热敏电阻的气化烧蚀效应,对硅单晶热敏电阻进行高精度激光调阻.用等效电路网络分析阻值变化情况,与实验结果相符.
激光对Si单晶热敏电阻作用的实验研究
【摘 要】
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利用调Q-YAG激光对硅单晶热敏电阻的气化烧蚀效应,对硅单晶热敏电阻进行高精度激光调阻.用等效电路网络分析阻值变化情况,与实验结果相符.
【机 构】
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中国科学院上海光机所; 中国科学院新疆物理所; 中国科学院新疆物理所;
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
：
2004年期
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