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为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长,费用高;测试过程时间长,误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法,本文介绍了上述方法的相关验证实验,最后针对实验结果做了简要分析。
硅微谐振式压力传感器测试方法研究
【摘 要】
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为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长,费用高;测试过程时间长,误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法,本文介绍了
【机 构】
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北京航空航天太空精密光机电一体化教育部重点实验室,北京航空航天大学惯性技术国防科技重点实验室
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2012年S1期
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