基于Marx电路的纳秒级高压脉冲电源设计

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为满足等离子体污水处理对高压脉冲电源的要求,设计了一种基于Marx发生器的紧凑型、高重复频率纳秒级高压直流脉冲电源,该脉冲电源以绝缘栅双极晶体管(IGBT)作为放电主开关,并使用多输出磁环变压器为IGBT提供驱动信号。Marx发生器由25级电路组成,每级电路由IGBT开关、快恢复二极管以及电容器组成。充电时,通过电感和二极管对电容充电,减小电路功率损耗;放电时,电感对输出脉冲高电压与输入电源之间进行隔离。为了保护IGBT开关在短路等情况不被过电流损坏,使用了过电流保护电路。实验结果表明,输入电压为500 V低压时,串联25级电路即可获得最大幅值为10 k V、最小脉宽为400 ns且脉冲前沿为50 ns的高压脉冲,可实现反应器中气体的电晕放电,达到污水快速净化的目的。 In order to meet the requirements of high-voltage pulsed power supply, a compact, high repetition rate, nanosecond high-voltage DC pulsed power supply based on Marx generator is designed. The pulsed power supply uses insulated-gate bipolar transistor (IGBT) The main switch and the use of multi-output magnetic ring transformer IGBT drive signal. The Marx generator consists of 25 stages of circuits, each of which consists of an IGBT switch, a fast recovery diode, and a capacitor. During charging, the capacitor is charged through the inductor and the diode to reduce the power loss of the circuit. During discharging, the inductor isolates the high voltage of the output pulse from the input power. In order to protect the IGBT switch from overcurrent damage in the event of a short circuit, an overcurrent protection circuit is used. Experimental results show that when the input voltage is 500 V, a series of 25 stages can be used to obtain a high voltage pulse with a maximum amplitude of 10 kV, a minimum pulse width of 400 ns and a pulse front of 50 ns. Corona discharge, to achieve rapid purification of sewage purposes.
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