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传感器非线性测量误差及温度偏差是高精度液体浓度实时在线测量误差的主要因素。提出了一种基于浓度-温度-声速(S-T-V)曲面模型拟合算法的超声波液体浓度高精度测量方法。该方法以声速测量为基础,首先对非平稳声速测量数据进行预处理以减小系统非线性测量误差,再通过三次样条插值增加测量数据对后续数据拟合的参与度,然后分别建立S-V、T-V单曲线模型,最后运用最小二乘法完成S-T-V曲面拟合,实现多参数融合。实际测量表明,根据本方法测得氯化钠溶液质量浓度精度较高,受温度影响较小,误差优于±0.1%。