RF功率对PECVD制备SiN薄膜性能的影响

来源 :消费电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gougou316

【摘要】

：

为了得到Si3N4薄膜的性质和制备参数之间的对应关系,利用射频等离子体增强化学气相淀积在单晶硅的(100)面上制备了Si3N4薄膜,反应气体是SIH4和氨气的混合气.研究了射频源的输

【作者】

：

唐健

【机构】

：

江阴新顺微电子有限公司

【出处】

：

消费电子

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

RF功率 PECVD SiN薄膜性能

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为了得到Si3N4薄膜的性质和制备参数之间的对应关系,利用射频等离子体增强化学气相淀积在单晶硅的(100)面上制备了Si3N4薄膜,反应气体是SIH4和氨气的混合气.研究了射频源的输入功率对Si3N4薄膜性能的影响.结果显示:虽然Si3N4薄膜制备功率不一样,但其表面的光滑性和致密性没有差异.除此之外,薄膜表面的粗糙度随功率的增大而减小;薄膜的沉积速率也随功率的增大呈上升趋势;薄膜的腐蚀速率随功率的增大而减少;薄膜的均匀性也随着LF功率的增加而减小.

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