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本文介绍了用MBE技术制作半导体超晶格和量子阱材料的进展,以及在高速电子器件和光学器件方面的应用。
半导体超晶格和量子阱材料的研究和应用
【摘 要】
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本文介绍了用MBE技术制作半导体超晶格和量子阱材料的进展,以及在高速电子器件和光学器件方面的应用。
【机 构】
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机电部第13研究所石家庄050051
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1991年3期
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