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本文概述了复合石英玻璃的试制内容，探讨了熔烧制度对复合石英玻璃的表面析晶特性，分析晶和抗碱性及耐高温变形性能的影响，研制出适合半导体领域的各类性能良好的耐高温复合石英玻璃。
耐高温复合石英玻璃的研制
【摘 要】
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本文概述了复合石英玻璃的试制内容，探讨了熔烧制度对复合石英玻璃的表面析晶特性，分析晶和抗碱性及耐高温变形性能的影响，研制出适合半导体领域的各类性能良好的耐高温复合石英
【机 构】
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中国建材研究院
【出 处】
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中国建材科技
【发表日期】
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1998年6期
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