【摘 要】
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使用脉冲 Nd:YAG激光在单晶Si基底光热分解固相诱导化学沉积金属Ag和Au,其中Ag的最高沉积速度接近10mm/s.SEM结果显示Ag和Au球形颗粒均匀分布在沉积线表面,用AES研究了Ag沉积
【机 构】
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东北大学理学院,中国科学院沈阳金属研究所
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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使用脉冲 Nd:YAG激光在单晶Si基底光热分解固相诱导化学沉积金属Ag和Au,其中Ag的最高沉积速度接近10mm/s.SEM结果显示Ag和Au球形颗粒均匀分布在沉积线表面,用AES研究了Ag沉积线表面元素含量随深度分布.用X-Ray能谱分析了不同扫描速度沉积线表面金属元素含量.简单总结了固相诱导化学沉积Ag和Au的基本实验规律.
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