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据日本方面报道，Daikin Industrial公司计划在Osaka县Yodogawa工厂建造一个工业规模的COF，生产装置。用在半导体化学气体沉积室(CVD)清洁设备上的这种气体已被证明是一种有很大潜力的替代物，它可用于替代现在使用的NF3和高氟化碳．
Daikin准备选用COF2作为室内清洁气体
【摘 要】
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据日本方面报道，Daikin Industrial公司计划在Osaka县Yodogawa工厂建造一个工业规模的COF，生产装置。用在半导体化学气体沉积室(CVD)清洁设备上的这种气体已被证明是一种有很大
【出 处】
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化学推进剂与高分子材料
【发表日期】
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2005年1期
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