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RAMAN谱研究在退火和镍衬底上金刚石形核中甲烷的影响
RAMAN谱研究在退火和镍衬底上金刚石形核中甲烷的影响
来源 :光散射学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:y4o1999
【摘 要】
:
藉助SEM和MICRO-RAMAN,我们研究了在退火和在镍衬底上金刚石形核中甲烷CH4的影响.CH4的浓度分别为0%,0.5%,1.5%和2.5%,其中当甲烷浓度为1.5%时,金刚石在镍衬底上金刚石形核密
【作 者】
:
费允杰
王学进
熊艳云
冯克安
【机 构】
:
中国科学院物理研究所
【出 处】
:
光散射学报
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
RAMAN谱
退火
镍衬底
甲烷
金刚石薄膜
成核
CVD
化学气相沉积
Micro-Raman
Diamond
Nucleation
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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藉助SEM和MICRO-RAMAN,我们研究了在退火和在镍衬底上金刚石形核中甲烷CH4的影响.CH4的浓度分别为0%,0.5%,1.5%和2.5%,其中当甲烷浓度为1.5%时,金刚石在镍衬底上金刚石形核密度为3×108/cm2,这个结果高于以前的结果.金刚石膜的质量是好的.
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