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ZnO:Al薄膜的组织结构与性能
ZnO:Al薄膜的组织结构与性能
来源 :材料研究学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhzh06014201
【摘 要】
:
用直流磁控反应溅射合金制备了ZnO薄膜,研究了衬底温度和退火温度对薄膜的结构及电学和光学性能的影响。衬底温度升高能改善薄膜的电学特性,其原因是薄膜晶粒尺寸的增大。温度升高
【作 者】
:
裴志亮
谭明晖
【机 构】
:
中国科学院金属研究所
【出 处】
:
材料研究学报
【发表日期】
:
2000年5期
【关键词】
:
ZNO薄膜
透射率
合金靶Al/Zn
组织结构
性能
ZnO films
temperatuer
optical absorption edge
tran
【基金项目】
:
沈阳市科委基金资助项目
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用直流磁控反应溅射合金制备了ZnO薄膜,研究了衬底温度和退火温度对薄膜的结构及电学和光学性能的影响。衬底温度升高能改善薄膜的电学特性,其原因是薄膜晶粒尺寸的增大。温度升高导致薄膜基本光学吸收边向短波移动,但对高透射区(450~850nm)的透射率影响不大。
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