【摘 要】
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提出具有电阻场板（Resistive fieldplate，RFP）硅基LDMOS表面电场和击穿电压解析模型。基于求解二维Poisson方程，此模型给出了二维表面电场和电势与器件结构参数和漏偏压关系的解
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提出具有电阻场板（Resistive fieldplate，RFP）硅基LDMOS表面电场和击穿电压解析模型。基于求解二维Poisson方程，此模型给出了二维表面电场和电势与器件结构参数和漏偏压关系的解析表达式；计算漂移区长度与击穿电压的关系，提出了一种优化高压器件的有效方法。解析结果与用MEDICI模拟的数值结果吻合较好，验证了模型的准确性，该模型可用于体硅RFPLDMOS的设计优化。
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