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深宽比对铜互连线残余应力的影响
深宽比对铜互连线残余应力的影响
来源 :电子制作 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shengyu0128
【摘 要】
:
采用ANSYS有限元软件模拟了不同深宽比铜互连线的残余应力分布情况。结果表明,铜互连线表面和侧壁区域的应力随深宽比升高而增加;底部区域的应力在深宽比接近1时达到最小值。
【作 者】
:
王晓冬
【机 构】
:
中国人民武装警察部队学院基础部
【出 处】
:
电子制作
【发表日期】
:
2014年12X期
【关键词】
:
铜互连
深宽比
有限元
残余应力
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采用ANSYS有限元软件模拟了不同深宽比铜互连线的残余应力分布情况。结果表明,铜互连线表面和侧壁区域的应力随深宽比升高而增加;底部区域的应力在深宽比接近1时达到最小值。
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