磁控溅射技术的开发与应用

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本文简单地回顾了磁控溅射源的发展过程,综述了一些关于磁控溅射的基础研究的成果和磁控溅射技术的应用。 This article briefly reviews the development of magnetron sputtering sources and summarizes some of the results of basic research on magnetron sputtering and the application of magnetron sputtering.
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