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采用对靶直流反应磁控溅射方法，在不同温度的Si（100）基片上制备了一系列的ZnO薄膜．利用X射线衍射仪和荧光分光分度计对ZnO薄膜的结构和发光性能进行了研究．结果表明：所有的ZnO薄膜都具有六角纤锌矿结构，且都表现出了（002）织构．随基片温度增加，ZnO薄膜结晶质量提高，其颗粒尺寸单调增加，并且薄膜应力状态发生改变，由压应力转变为拉应力．同时光致发光谱实验结果表明：室温沉积的ZnO薄膜出现了365nm和389nm的紫外双峰，并且出现了弱的蓝光发射带．随着基片温度升高到350℃，365nm附近的紫外峰红