1200 V 4H-SiC JBS二极管的研制

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通过理论分析与计算机仿真方法对1200 V 4H-碳化硅(SiC)结势垒肖特基(JBS)二极管进行了设计与研究,实现了1200V/2A,1200V/5A及1200V/30A三种等级管芯的研制。鉴于非均匀场限环(FLR)保护效率存在对工艺偏差敏感的问题,所设计各电流等级的管芯均采用均匀FLR作为终端结构。经测试,所研制管芯在反偏压为1200V时,漏电流均不大于3/xA,且1200V/2A,1200V/5A及1200V/30A三种等级管芯的通态电阻分别为790mΩ,360mΩ及59.3mΩ。
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