微机电系统科学与技术发展趋势

来源 :大连理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ayopr

【摘要】

：

阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别 ;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技

【作者】

：

王立鼎刘冲

【机构】

：

大连理工大学机械工程学院

【出处】

：

大连理工大学学报

【发表日期】

：

2000年05期

【关键词】

：

传感器/微机电系统微制造技术

【基金项目】

：

国家“九七三”基础研究资助项目! (G19990 3 3 10 7);教育部骨干教师资助项目;大连市基金资助项目! ( 99 69)

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

阐明了微机电系统 (MEMS)的学科内涵与应用范畴 .着重介绍了国外MEMS的研究情况 .研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别 ;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术 .总结了国内的研究工作 ,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况 ,并提出发展我国微机电系统的几点建议 .

其他文献

针灸治疗冠心病的临床和机理研究进展

综述了体针、耳针、腕踝针、穴位注射、穴位贴敷和穴位埋线疗法治疗冠心病的临床疗效;并从针灸改善血液流变学和微循环、调整TXB2/6-K-P比值、影响单胺类神经递质的释放、调

期刊

冠状动脉粥样硬化性心脏病/针灸疗法综述

泛函微分方程的周期解与周期边值问题

本硕士论文研究二阶含自迭代形式的泛函微分方程周期解的存在性与二阶泛函微分方程周期边值问题，周期解的存在性问题与周期边值问题一直是微分方程理论的重要问题，吸引了众多学

学位

周期边值问题周期解上下解泛函微分方程拓扑度单调迭代技巧

热休克蛋白70过表达对过氧化氢诱导BRL细胞caspase 3表达的影响

目的探讨热休克蛋白（heat shock protein,Hsp）70过表达对过氧化氢（hydrogen peroxide,H2O2）诱导Buffalo大鼠肝细胞（BRL细胞）cleaved caspase 3表达的影响。方法将BRL细胞分为6组:空

期刊

热休克蛋白70BRL细胞caspase 3过氧化氢

泛珠三角区域农业合作的可行性分析

区域合作与发展已成为世界经济发展的主流。运用管理学中的“SWOT”分析模式 ,从多个角度分析泛珠三角区域农业合作的优势、劣势面临的机遇和挑战 ,分析表明 ,目前泛珠三角地

期刊

泛珠三角区域农业合作可行性

中国首次提出食品工业减盐策略

本报讯董子畅中国疾病预防控制中心营养与健康所和中国营养学会18日在北京联合推出《中国食品工业减盐指南》，力争到2030年全国人均盐摄入量下降20%。这是中国首次推出减盐

报纸

液相沉积法制备尺寸可控木质素纳米粒子及其表征（英文）

以乙酸木质素为原料,采用液相沉积法制备了木质素纳米粒子。考察了制备过程中制备条件对形成木质素纳米粒子的影响,得到最佳制备条件为搅拌速率300 r/min、滴加速度5~40 mL/h

期刊

木质素纳米粒子纳米沉积疏水表面lignin nanoparticle nano precipitiation hydrophobic surface

巧用主题绘本开阔人文视野——PEP Book 7 Unit 2B Read and write课堂实录

<正>【教材说明】本单元的话题为"Ways to go to school",学生通过本单元的学习可以了解几种常见的出行方式和交通规则。根据六年级学生的认知特点,本课引入绘本This is the

期刊

PEP Book 7 Unit 2B Read and write人文视野延伸阅读

红花玉兰潜在引种气候适生区研究

红花玉兰Magnolia wufengensis是近年在湖北五峰发现的木兰科Magnoliaceae木兰属Magnolia植物新种,其树形高大,花被片内外纯红,具有极高的观赏价值,可作为城市绿化树种和山地

期刊

植物学红花玉兰引种适生区模糊相似优先比

论述我国民事诉讼中的非法证据排除规则

一直以来，非法证据排除是刑诉诉讼研究的一个重要问题，其具沐确定的时间是在2012年3月14日全国人民代表大会关于修改《中华人民共和国刑事诉讼法》的决定中，明确了“非法证据”

期刊

民事诉讼非法证据非法证据排除规则

论朝鲜战争中有限战争理论的实践

朝鲜战争是第二次世界大战结束以后首次大国之间直接的军事对抗 ,也是战后唯一的大国之间直接军事对抗。战争的实践表明 ,这次大国之间的直接军事对抗 ,就其对抗的性质、程度

期刊

朝鲜战争有限战争军事思想

微机电系统科学与技术发展趋势

与本文相关的学术论文