【摘 要】
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纳米级金属薄膜能够作为热释电探测器红外吸收薄膜在14-16μm波段范围内有效应用已经得到证明.通过调节沉积在LT（钽酸锂）晶体材料上的纳米级镍铬（NiCr）薄膜的厚度和表面特征来改
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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Supported by National Science Funds for Creative Research Groups of China （61421002）, National Natural Science Foundation of China （61405027）, the Postdoctoral Science Foundation of China （2014M562296
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纳米级金属薄膜能够作为热释电探测器红外吸收薄膜在14-16μm波段范围内有效应用已经得到证明.通过调节沉积在LT（钽酸锂）晶体材料上的纳米级镍铬（NiCr）薄膜的厚度和表面特征来改善纳米金属薄膜红外吸收特性.通过调节晶体材料的厚度,改变抗反射腔的深度,从而调节吸收波长.为进一步加强红外吸收,应用化学腐蚀,生成粗糙的纳米级薄膜表面结构,从而极大程度上增加吸收表面积.通过将这两种方法结合,可以明显增强指定波段的红外吸收,且其制造过程完全兼容,易于实现.可控的吸收性能的实验结果与仿真和设计情况相符合.
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