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对洁净室内分子级污染物（AMC）的分类、取样监测方法以及针对不同制程所采用通用的污染控制方法进行了较为全面的归纳和总结。对不同类型的污染源头进行分类识别，并举出实例，给出了几种控制污染的方法。分析了具体问题的实际情况，讨论了主要的污染源及具体产品的环境控制要求，以找到最合理、有效的处理方法。
半导体洁净室内分子级污染物的控制方法
【摘 要】
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对洁净室内分子级污染物（AMC）的分类、取样监测方法以及针对不同制程所采用通用的污染控制方法进行了较为全面的归纳和总结。对不同类型的污染源头进行分类识别，并举出实例，给出
【机 构】
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中芯国际集成电路（上海）制造有限公司
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2008年6期
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