【摘 要】
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为了了解热驱动薄膜式微型泵的性能，对泵的主要部件进行了分析，然后对泵的整体性能进行了模拟。得到了微型泵的频率特性及流量随功率的变化。发现泵的流量在３．３Ｈｚ左右达到最大。膜片
【基金项目】
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国家自然科学基金!59995550－2
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为了了解热驱动薄膜式微型泵的性能，对泵的主要部件进行了分析，然后对泵的整体性能进行了模拟。得到了微型泵的频率特性及流量随功率的变化。发现泵的流量在３．３Ｈｚ左右达到最大。膜片的预应力对泵的性能有重要影响。功率小时，预应力使流量降低，功率大时，预应力使实验测定了微型泵的频率和功率特性，模拟结果与实测结果基本吻合。
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